高纯度钛

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高纯度钛
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日本一家公司制成了一种纯度为99.9999%的高纯钛.利用这种高纯度钛可以制造半导体基板上的氮化钛薄膜,使用这种氮化钛薄膜可以避免因硅铜基板上的杂质

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.高纯度钛[J].钛工业进展,1994,11(5).

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