超低氧含量钛的制备工艺综述

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超低氧含量钛的制备工艺综述
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在最近几年里,用作电子材料的高纯度钛的需求日益增加.对于诸如半导体工业的靶材之类的用途来说,主要利用99.99%～99.999%(不包括气体元素)高纯度的克罗尔法海绵钛原料.目前,采用碘化物法或者电解提纯法来进一步地提纯作为电子材料的钛.借助这些途径生产的钛纯度水平处在99.999%～99.9999%(不包括气

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.超低氧含量钛的制备工艺综述[J].钛工业进展,1995,12(3):4-7.

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