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1996年第13卷第5期
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高纯钛的制取
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高纯钛作为溅射靶以TiSi_x、TiN膜的形式用作超大规模集成电路的控制电极、扩散阻挡层及配线材料等。材料中所含重金属
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.高纯钛的制取[J].钛工业进展,1996,13(5):14-16.
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