RF-PCVD法制备条件对纳米TiO2微晶的影响

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RF-PCVD法制备条件对纳米TiO2微晶的影响
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中图分类号:TF123
基金项目:国家自然科学基金项目(29776032);山西省科技攻关项目(202092)

Reaction Effect of Nano TiO2 Particle Prepared by RF-PCVD

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采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)法,以TiCl4 O2为反应体系,制备出了纳米级的TiO2粉体。TEM、XRD等结果表明,颗粒基本呈球形,粒径小于100 nm。从模拟结果和实验结果可以看出:随着汽化温度升高,停留时间延长,二氧化钛颗粒粒度逐渐增大,同时金红石含量也增加。加入AlCl3晶型转化剂,有助于锐钛相向金红石相转化。

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. RF-PCVD法制备条件对纳米TiO2微晶的影响[J].钛工业进展,2004,21(5):29-33.

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最后修改日期:2003-10-25
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