磁控溅射构筑TiN-Pt复合涂层提升钛扩散层性能

摘要:

钛扩散层表面改性可以有效抑制低导电性氧化膜的形成，并提升其耐腐蚀性和电子导电性。通过磁控溅射技术成功在钛扩散层上构筑了TiN-Pt复合涂层，揭示了TiN中间层对涂层表面形貌、亲水性、接触电阻及耐蚀性的影响规律。研究结果表明：随着中间层厚度增加至4μm，样品表面形貌呈现液滴飞溅和冷凝特征，涂层的结合力和亲水性得到了提升，样品接触电阻降低至9.58 mΩ·cm~2，腐蚀电流密度降低至1.81×10~(–6) A/cm~2。在模拟质子交换膜水电解槽环境下进行测试，当电流密度为4 A/cm~2时，复合涂层槽压仅为2.18 V；在2 A/cm~2电流密度下进行稳定性测试，样品在超过1100 h的测试中未表现出衰减现象，展现出显著的应用价值。

Abstract: