在碳化锆—碳的复合物的沉积中,检验了海绵锆同(a)二氯甲烷和(b)氯气的反应条件。在引用二氯甲烷法时必须有氢气存在。在氯化法中,沉积物是从海绵锆和氯气或碳氢化物的反应连续产生出的四氯化锆中得到的,在该研究中使用了甲烷。在1000℃以上两种方法都发生复合物的大量沉积。在此还简单地讨论了沉积的机理。
克·艾卡沃,李振贺.用氯化法汽相沉积碳化锆—碳的复合物[J].稀有金属材料与工程,1975,(1).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1975,(1).]DOI:[doi]