制取硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法

摘要:

本文着重讨论沉积硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法、涂层结构和性能的关系及硬质涂层的各种应用。

Abstract:

本文着重讨论沉积硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法、涂层结构和性能的关系及硬质涂层的各种应用。