TG174.44
在低碳钢板表面进行磁控溅射镀钛,800℃1小时得到20μm厚纯钛层。镀层附着牢固,耐蚀性良好。对镀钛后的试样用X射线衍射仪、电镜等所作分析表明:镀层为六方结构的α纯钛,同基体间界限分明,没有扩散发生,但结合紧密,未观察到孔洞。溅射后的试样在真空中于900℃保持2小时,则基体中部分铁原子及大量碳原子向镀层扩散,而镀层中的钛也向基体扩散,形成渐变的成份梯度,同时在镀层中测到少量Ti-Feβ相的体心立方结构。实验表明,磁控溅射是在钢表面得到高质量钛层的一种有效方法。
邓永瑞 周熔.磁控溅射镀钛的研究[J].稀有金属材料与工程,1989,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1989,(6).]DOI：[doi]