高分辨超导结构可用于探测晶界性质,面邻近效应的形成和减小超导量子干涉仪的噪声。几种应用中,制成的结构模型必须保持原始薄膜的超导电性。以前的研究表明,结构宽度要受小尺寸效应的严重影响,如宽度从0.5 μm减小到0.25 μm时,其J_C值要减小25
.离子蚀刻制备YBCO毫微米结构的分辨极限[J].稀有金属材料与工程,1992,(5).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1992,(5).]DOI:[doi]