O613.71
化学气相沉积耐磨、耐热金刚石薄膜由于金刚石有最高的硬度、高的电阻、比Ｃｕ，Ａｇ好的导热性、宽的谱线透过能力、很低的摩擦系数、良好的化学惰性，所以在许多应用领域都是一种理想材料。但由于它太昂贵，以致应用极少。然而，新的化学气相沉积（ＣＶＤ）工艺，则可以...
.化学气相沉积耐磨、耐热金刚石薄膜[J].稀有金属材料与工程,1994,(2).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1994,(2).]DOI：[doi]