氮分压对离子镀氮化钛涂层的影响

The Effect of Nitrogen Partial Pressure on the Properties of Titanium Nitride Coating by Using Ion Plating Process

摘要:

研究了氮分压对空心阴极离子镀氮化钛涂层性能的影响。结果表明：在１．３３×１０（－２）～２．２１×１０（－１）Ｐａ氮分庄范围内，显微硬度随氮分区增加而增加，在２×１０（－２）Ｐａ时显微硬度出现最大值，而后随氮分压的增加，显微硬度下降；随着氮分区增加，氨化钛涂层在Ｈ２ＳＯ４溶液中的抗腐蚀性能增加；氮分压强烈影响ＴｉＮ织构。

Abstract: