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氟化物CVD法直接制取特纯高致密异型钨制品李汉广,彭志辉(中南工业大学,长沙410083)钨的脆性大,难加工,用粉末冶金方法又难于达到高致密度,而且也无法生产形状特别复杂以及诸如毛细管等一类的特殊钨制品。氟化钨CVD法则不仅可以生产这类产品,而且还具...
李汉广 彭志辉.氟化物CVD法直接制取特纯高致密异型钨制品[J].稀有金属材料与工程,1994,(6):74~77.[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1994,(6):74~77.]DOI:[doi]