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三氟乙酸盐金属有机沉积法(TFA-MOD)是1种化学溶液沉积法,用这种方法制备YBCO超导膜具有很多优点:首先可以精确控制金属成分;第二可以在各种形状的表面上进行涂覆;第三,因为这是1种非真空工艺,所以成本比较低。这种方法的另1个非常重要的优点是薄膜临界电流密度具有很高的重复率。其原因是这种方法中YBCO的结晶不是通过非晶先驱物固态外延形成的,而是1种包括水和氟化物在内的化学转变过程。因此,获得高JcYBCO膜对氧分压,烧结温度等工艺条件的要求不是非常苛刻,可以在比较宽的工艺条件下容易获得高JcYBCO膜。因为…
刘春芳.用三氟乙酸盐金属有机沉积法在金属基带上制备高JcYBa_2Cu_3O_(7-x)膜[J].稀有金属材料与工程,2002,(5).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2002,(5).]DOI:[doi]