TM26
国家自然科学基金资助(59832050)
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(001)单晶基片上制备了YBa2Cu3O7—δ超导薄膜。用X—射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明，薄膜呈c轴取向，薄膜中产生了一定数量的颗粒状Y203杂相，且具有择优取向，而靶材中所含的Y2BaCuO8相却没有在薄膜中形成，沉积温度升高，有利于[001]取向的Y2O3的形成，但不利于[111]取向Y2O3的形成，与传统的粉末烧结靶相比，用熔融织构靶制备YBa2Cu3O7—δ薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成。
王天生 田永君 彭炜 胡文斐 李林.用熔融织构靶制备的YBa2Cu3O7—δ超导薄膜的微观组织结构[J].稀有金属材料与工程,2003,(4):301~304.[. Microstructure of YBa2Cu3O7-[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2003,(4):301~304.]DOI：[doi]