HF-PCVD法TiO2纳米晶的粒径与晶型控制

Control of Particle Size and Crystal Phase of TiO2 Nanocrystalline Prepared by HF-PCVD

摘要:

以TiCl4和O2为反应体系，采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶，球形体的晶粒分散性良好，分布较为均匀：研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件。XPS，TEM，XRD结果显示：增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化，但粒径有所增大：添加A1C13使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高，且粒径随掺铝量增加而减小。本实验条件下，TiO2纳米晶的粒径为25nm～60nm，金红石相含量在12．O％～53．6％间可控。

Abstract: