+高级检索
金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TG146.34

基金项目:

国家高技术研究发展计划(“863”计划)项目(2002AA305306)


Structural and Morphological Characterization of Iridium Coatings Grown by MOCVD
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    采用金属有机物化学气相沉积法,在不通入活性气体的条件下,研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层。分析表明:铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成,220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层,185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层。铱涂层表面光滑均匀,无明显缺陷。

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

杨文彬 张立同 成来飞 华云峰 张钧.金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析[J].稀有金属材料与工程,2006,35(3):488~491.[Yang Wenbin, Zhang Litong, Cheng Laifei, Hua Yunfeng, Zhang Jun. Structural and Morphological Characterization of Iridium Coatings Grown by MOCVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(3):488~491.]
DOI:[doi]

复制
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2004-12-27
  • 最后修改日期:2004-12-27
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期: