CoFeZrRE磁性薄膜微波电磁特性研究
作者:
中图分类号:
TM277
基金项目:
国家自然科学基金资助项目（50371029）
Microwave Electromagnetic Characteristics of CoFeZrRE Magnetic Films
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摘要:
研究在微波段具有高磁导率和大磁损耗的CoFeZrRE薄膜,采用射频磁控溅射工艺制备该类薄膜,探讨了工艺参数和薄膜厚度对CoFeZrRE薄膜结构和电磁性能的影响.重点研究了掺杂稀土元素的含量和种类对薄膜磁各向异性、饱和磁化强度等基本磁参量以及微波磁导率和磁损耗的影响.结果表明,重稀土元素（如Dy,Tb）提高微波磁损耗的效果更显著;CoFeZrRE类薄膜具有较高的微波磁导率和磁损耗（2 GHz处,μ＇和μ＂均高于200）,有望在微波吸收和抗电磁干扰领域获得广泛应用.
关键词:磁性薄膜 微波磁导率 稀土元素
引用本文
邓联文 何华辉 冯则坤 江建军 张秀成 熊惟皓. CoFeZrRE磁性薄膜微波电磁特性研究[J].稀有金属材料与工程,2006,35(6):986~989.[Deng Lianwen, He Huahui, Feng Zekun, Jiang Jianjun, Zhang Xiucheng, Xiong Weihao. Microwave Electromagnetic Characteristics of CoFeZrRE Magnetic Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(6):986~989.]
DOI：[doi]
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- 收稿日期:2005-07-14
- 最后修改日期:2005-07-14