部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜

Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy

摘要:

采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7％Fe（原子分数，下同）合金，利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光。结果表明：Ce-7％Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜，比报道的稀土抛光温度要低200℃以上；在680℃抛光3h表面粗糙度Ra值由原来的5．95μm降低到0．69μm，抛光效率高达30μm／h；SEM观察表明，抛光使膜的表面光洁度有明显提高；经拉曼光谱检测，抛光没有对金刚石膜造成任何污染。

Abstract: