国家自然科学基金项目(50975002);安徽工业大学创新团队项目(TD201204);教育部高校留学回国人员科研项目
王 婕,储向峰,董永平,白林山,叶明富,孙文起.水杨酸体系抛光液中钌的化学机械抛光研究[J].稀有金属材料与工程,2014,43(12):3120~3123.[Wang Jie, Chu Xiangfeng, Dong Yongping, Bai Linshan, Ye Mingfu, Sun Wenqi. Chemical Mechanical Polishing of Ruthenium in Salicylic Acid System Slurry[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2014,43(12):3120~3123.]
DOI:[doi]